“李老师，今天不是要做实验验证吗？结果怎么样了？”一边走着，郑诚说道。
李亦平向前指了指，说道：“测试已经结束了，现在正在做结果评估，机器就在前边。”
很快，他们就来到了一个单独划分出来的区域，一台……或者分成许多部分的机器摆放在那，太大了，没有外壳，各种线路跟内部结构都在那露着。
李亦平手指了指，说道：“这就是验证设备，当然，这并不是完整工作状态，省去了很多部分。整个实验目的有两个，一是看技术原理是不是能够实现，再有则是更直接的展现技术难点，方便明确接下来的技术研发重点。”
听着李亦平的话，又看着眼前这一大堆东西，郑诚也不由得感慨。这玩意就是光刻机啊！不，准确的说还只是有个大概模样，相当于盖房子刚打好地基架了梁。而就这些，他们已经忙了两年多，团队也从原本的几十人，扩大到了现在的两三百人。
“大规模集成电路制造的核心就在于光刻设备，为了摩尔定律继续发挥作用，必须想尽办法提高加工精度。当初选中了光刻方式，现在也同样。
根据瑞利公式：CD=k1*(λ/NA)，我们能选择的就是降低波长λ，提高镜头的数值孔径NA，降低综合因素k1。不过，在零件加工精度逼近极限的情况下，摆在面前的其实只有一条路，选择波长更短的光源。”
绕着这台机器，李亦平看起来兴致不错，对着旁边的郑诚侃侃而谈。
“目前看来比较有前途的就是激光，我们这次验证的是248nm的KrF激光。一旦成功，将对整个电子产业产生重大意义。同样大小的芯片，功能却可能是几倍十几倍的增长。”
说到激动处，李亦平的手都不由得挥动起来，面对这种规模巨大的项目，实在很难让人不激动。
连郑诚也听的心中震动，他当然知道，这都是真的。为什么是九十年代互联网兴起？不是因为互联网技术，更不是因为那些互联网公司诞生，而是因为计算机硬件获得了技术上的大幅度进步！怎么进步的？是芯片更加强大。从根本来说，则是光刻精度的提高。
“李老师！那，这东西什么时候能够量产？”郑诚立刻说道。
“也许……”李亦平的手本想比划个数字，但还是放弃了。
“我也不知道。只能说难度很大，尽量不落后国际同行太多。这么跟你说吧，如果高科技有所谓标准，那到了这一步，光刻机就算踏入高科技产业的门槛了！研发规模太大了，步步掣肘，快不得。”
郑诚听的有些发懵，他倒都听得懂，大概原理也看过资料，可要说难度在哪？为什么难？那他就不知道了。
憋了好一会也没想出来一个有水平的问题，他只好说道：“那现在实验室这边还需要什么？”
他只有钱。
“很多！”李亦平目光有些凝重，说道：“比如激光光源，高精细度的反射镜片，还有高分辨率高精度光刻胶，等等很多东西。这么说吧，一个完整优秀的产业链供应，而且大部分都是不能进口的。”
郑诚点点头，表示理解。他早知道光刻机复杂，原本就有心理准备，现在看比预想的还要好一些。再说了，又不是只他们有困难，国外别的企业也还没影呢。
再怎么，现在起步也比以后要好的多，起码还站在同一个起跑线上。不过，除了基础弱了些，他也不是全无优势，比如，可以持续不断的高投入。在这个赢家通吃的行业，这一点很重要。