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第五十二章 追光行动(2)(2 / 2)

黎光楠他们知道,这些资料所蕴含的价值,远不止眼前所见的这些。</p>

而后,他们的目光不约而同地转向了台前的少年,等待着他的下一步发言。</p>

在这群人中,大王先生资历最老,江湖地位也最高。</p>

84岁的他首先开口,声音中透露出一丝亢奋,</p>

“小卿,有话直说,要怎么安排,怎么进行,你直接吩咐就是了。”</p>

大王先生的这句话,相当于代表在场的所有人进行了表态。</p>

卿云心中感激,他对着所有大佬鞠了一躬,然后看向了那位主持了前两代光刻机研发的徐端颐。</p>

“徐老,”卿云的目光中带着一丝期待,“您是浸淫此道多年的老前辈,我想请问您,有没有把握根据资料对浸润式光刻机进行研发?”</p>

徐端颐没有急着回答,他闭目思索了良久,会议室里的气氛也随着他的沉默而变得紧张起来。</p>

虽然他们都是搞这行的,但半导体是个庞大的系统工程,术业有专攻,要说起光刻机的研发,还得看这位老爷子。</p>

终于,徐端颐缓缓睁开了眼睛,他的声音中带着一丝沙哑:“有把握,但是……这不解决根本问题。”</p>

此言一出,会议室里的气氛顿时凝重起来。在座的每一位都是半导体领域的专家,他们当然明白徐端颐所说的‘根本问题’指的是什么。</p>

表情怪异的黄令仪紧随其后的开了口,“小卿,这份资料非常的重要,对我们国家来说,完全可以说是无价之宝。</p>

但是……”</p>

徐端颐接过她的话头继续说着,“小卿,一台光刻机,我们进行拆分,大致分为光源系统、照明系统、投影物镜系统、双工件台系统、以及光罩与晶圆传输系统、调平调焦系统、对准系统七个子系统。</p>

光刻机性能的三大评价指标是分辨率、套刻精度、和产率,这是一整套极严苛的环境控制、整机控制以及整机软件分析系统。</p>

可以说光刻机的每一个子系统都在挑战人类工程的极限。”</p>

他惋惜的叹了口气,“我的意思是,只有这套图纸,是不够的。我们差的……不是一点半点,甚至很多领域,我们的现状是近乎为零。</p>

坦率的说,给我图纸,给我一年半载,我能造出来,但没法用,你明白吗?”</p>

卿云闻言并没有什么气馁的神色。</p>

很正常,毕竟这群老头老太太们,不是和他一样都是重生的。</p>

他们一直在争气,却没那个解气的经历。</p>

徐端颐望着他,神色复杂的说着,“小卿,追光……光喊口号是没用的。技术、工艺受限,单单突破一点,是没用的。”</p>

云帝闻言,眼神毫不躲闪的,淡淡的说着,“老爷子,我明白的。我虽然年轻,但也没那么天真。”</p>

这个过程,他太清楚了。</p>

华国的第四代光刻机,最初便是如此。</p>

07年我们便达到了90nm,只是光学系统拉胯,别人见你做出来了,直接不卖配件让我们没法量产,直到十年后在国内各参与方通力合作才解决。</p>

虽然那是干式光刻机,对光学系统进口依赖严重,但当前的现状就是就算走浸没式,同样也会被别人封锁。</p>

因为正如徐端颐所言,很多领域就是一片空白,只能依赖进口。</p>

不过……</p>

云帝此时却笑了笑,“老爷子,这就是我们今天坐在这里来商讨的意义所在。</p>

我们今天讨论的纲领,就是从源头来解决这一切的。”</p>

说罢,他又打开了投影仪。</p>

此时的幕布上面,光刻机器七大子系统赫然出现在ppt中,甚至每个子系统又拆分成不同的细分系统。</p>

上面的绿色标明了哪些部件是可以国产的,而黄色部分则是哪些部件是现有技术下可以解决的,如光源,以前没有,是国内没人造光刻机,现在有人要造要用,自然是可以解决的。</p>

毕竟,论到玩激光,华国才是祖宗。</p>

甚至,单从光源来说,成创天院士的研发的kbbf晶体可以反向卡欧美的脖子,没有这玩意儿,根本就没有euv光刻机。</p>

而这个晶体,成创天院士以一己之力硬生生的卡了欧美15年的脖子。</p>

众大佬也知道这种情况。</p>

一张硕大的图片,让众大佬很是无语。</p>

“你小子真的是为难我们这些老头子哦!”</p>

即使是在投影幕布上,那密密麻麻的,字跟蚂蚁大小也差不多,让他们叫苦不迭,纷纷想要起身去前面拿着放大镜仔细看着。</p>

萧雅适时的将各系统详细分解图在会议室里散发着。</p>

上面的字体斗大斗大的,倒是让老头老太太们舒服了不少。</p>

而年纪最大的王守武等人,旁边也专门有国安的人员坐在一边替他们念着。</p>

又是十来分钟过去,一众大佬纷纷放下了手里的资料以及……手里的放大镜。</p>

不过望着上面几乎比例可以达到70%的白色区域,都是摇头苦笑着。</p>

差的太多。</p>

……</p></div>

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